【瞧我们的前沿科技】12英寸碳化硅衬底实现激光剥离

2025-04-14

【瞧我们的前沿科技】   本报北京3月30日电（记者晋浩天）由西湖大学孵化的西湖仪器，日前成功实现12英寸碳化硅衬底激光剥离自动化解决方案，大幅降低损耗，提升加工速度，推进了碳...

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